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无尘车间参数标准
无尘车间(Clean Room)是指空气无尘度达到规定级别的受控空间。其功能是把空气中的微粒子、有害空气、等污染物排除室外,并将室内的无尘度、温度、湿度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音、振动、照明及静电控制在某一需求范围内。
无尘车间主要的作用在于控制产品所接触的空气的无尘度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大小划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小得微乎其微,但是对于一些精密产品生产,比如光学行业而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学行业产品的生产上,无尘是必然的要求。
无尘车间的等级
1、等级均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D 及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
2、209E与209D等大的不同在于209E表示单位增加了公制单位,无尘室等级以“M”字头表示,如M1、 M1.5、M2.5、M3,??,依此类推,配合国际公制单位的标准化,M字母后的阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm的微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为的,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方的间,则以1.5、2.5、3.5表示。
3、美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准的表示法以Class 1,Class 2,Class 3??Class8表示,好的等级为Class 1,差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
无尘车间设计时应考虑的几个特性:
(1)耐久性:
净化车间要有符合环境、净化车间内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性,同时也依赖无尘车间等级来建造。半导体倾向选择铝,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物质。
(2)清洗:
在制药和生物工学工业,无尘车间的墙壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止滤过毒或的污染之特性。在市场,清洗真正地是一个重要的企业。
(3)适应性:
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱,而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致的损失。拥有者和设计者的能力为改变的关键,所以他们从不将初的设计定型。
(4)维护性:
对无尘车间而言,较严格要求的部分为地板、天花板,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中重要的为天花板,其包含HEPA及ULPA等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,其实天花板是一个颇复杂的系统其严格地过滤粒子,故其设计。
无尘车间振动控制:
1、无尘车间和周围性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净厂房的管道,应采取积极隔振措施。
2、无尘车间内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的隔振措施。
3、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发生量、保持洁净厂房内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时,应地气源进行处理,使其达到洁净厂房的空气洁净度等级。
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